石英舟是什么？相信大家通過我們的產品介紹，已對此有所了解。對，石英舟又名石英玻璃，是一種二氧化硅高含量的耐酸材料。它獨特的物理屬性，決定了它的清洗和飽和處理方法的不同。下面我們就來為大家介紹一下石英舟的清洗和飽和處理方法。

1、石英舟的清洗：將石英舟放入濃度為10%～25%的氫氟酸進行浸泡40min～120min后，放入噴淋槽用純水噴淋，噴淋時間為20min～90min；

2、清洗后的干燥：用氣體干燥劑（比如氮氣）吹干石英舟；

3、石英舟的飽和：將石英舟放入爐溫為800℃～900℃的管式擴散爐中，通入氧氣和流量為1000～3000ml/min三氯氧磷液態(tài)源，其中氧氣和三氯氧磷液態(tài)源的流量比為1:1～5；

4、最后用10～30L/min的氮氣或者氧氣冷卻石英舟。

采用上述清洗和飽和處理方法，具有以下顯著有益效果：經過氫氟酸清洗的石英舟上的硅粉沉淀物松動，再放入噴淋槽用純水噴淋，使得松動的硅粉沉淀物完全清除，再通過飽和工序中通過大流量的三氯氧磷液態(tài)源和氧氣，使得存在“死角”部位的石英舟卡槽充分吸收磷原子，石英舟在進行初次運載硅片進行擴散時，硅片上將不會產生卡槽印，從而保證石英舟的品質。

好了，通過我們的介紹，相信大家對石英舟的清洗和飽和處理方法都有所了解，東?？h國宏石英制品有限公司是多年生產石英舟的廠家，質量可靠，需要咨詢的可以聯系我們哦。